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Almatec FUTUR系列AODD泵新增预验证数据,支持超高纯度半导体流体处理
Almatec AODD Pumps Now Feature Pre-Validated Data for Ultra-High Purity Semiconductor Fluid Handling
AI 导读
Dover(NYSE: DOV)旗下PSG的Almatec宣布,其FUTUR T和FUTUR H系列AODD泵现已提供针对半导体超高纯度(UHP)应用的预验证数据,每台泵在发货前均按SEMI F40/F57标准完成清洁与析出测试。当前测试结果显示,这两款泵满足、部分甚至低于F57标准规定的污染物浓度限值。
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